Vakuové komponenty

Tepelné zpracování zahrnuje především procesy oxidace, difúze a žíhání.Oxidace je aditivní proces, při kterém se křemíkové plátky vkládají do vysokoteplotní pece a přidává se kyslík, aby s nimi reagoval za vzniku oxidu křemičitého na povrchu plátku.Difúze spočívá v přesunu látek z oblasti s vysokou koncentrací do oblasti s nízkou koncentrací prostřednictvím molekulárního tepelného pohybu a proces difúze lze použít k dotování specifických dopingových látek v křemíkovém substrátu, čímž se mění vodivost polovodičů.